VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 (XPS)

设备简介: Nova是半导体业界领先的专注于薄膜量测分析设备供应商,提供超高分辨率XPS+XRF in-line量测系统 VeraFlexIII+ XF是第四代超高分辨率XPS(X-Ray光电子光谱分析系统),用于超薄膜成分及厚度量测以达到薄膜工艺质量控制