KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷检测设备

适用于Si硅片及GaN外延片,SiC基片及SiC外延片表面缺陷及EPI外延缺陷的检测分析,包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹,同时也可以添加PL功能用以检测某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。该设备可以兼容透明片和不透明片。

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面颗粒(缺陷)检测设备

KLA-Tencor Candela 8400 / 8420 / 8720面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等)进行分类,统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准,可以给出检测样品合格与否的判断。同时8720型号可以针对化合物GaN外延材料进行高精度的外延缺陷(裂痕,凹坑等)检测,在化合物外延领域拥有很好的市场占有率。

NGR3550 ---电子束缺陷检测及图形测量分析系统

NGR是半导体业界领先的专注于电子束缺陷检测,大规模几何图形测量分析判断系统。NGR3550是新一代高分辨率型号