iMicro纳米压痕仪

产品经理:  奚丹丹

联络电话:+86-21 189 1839 3337

电子邮件:sunny.xi@scientech.com.cn

Product image of the iMicro

产品描述

iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试,并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包,可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。

InForce 1000 actuator

主要功能

  • 1.InForce 1000驱动器,用于电容位移测量,并配有电磁启动的可互换探头
  • 2.可选的InForce 50驱动器提供最大50mN的法向力来测量软性材料,并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统,可实现快速准确的探头校准
  • 3.InQuest高速控制器电子设备,具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
  • 4.XY移动系统以及易于安装的磁性样品架
  • 5.高刚度龙门架,集成隔振功能
  • 6.带数字变焦的集成显微镜,可实现精确的压痕定位
  • 7.ISO 14577和标准化测试方法
  • 8.InView软件包,包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序
ISO 14577 hardness testing

主要应用

  • 1.硬度和模量测量(Oliver Pharr)
  • 2.高速材料性质分布
  • 3.ISO 14577硬度测试
  • 4.聚合物tan delta,储存和损耗模量
  • 5.定量刮擦和磨损测试
  • 6.样品加热
Batteries and energy storage

工业应用

  • 1.大学、研究实验室和研究所
  • 2.半导体行业
  • 3.PVD / CVD硬涂层(DLC,TiN)
  • 4.MEMS(微机电系统)/纳米级通用测试
  • 5.陶瓷和玻璃
  • 6.金属和合金
  • 7.制药
  • 8.涂料和油漆
  • 9.复合材料
  • 10.电池和储能
  • 11.汽车和航空航天

Continuous Stiffness Measurement

连续刚度测量 (CSM)

连续刚度测量用于量化动态材料特性,例如应变率和频率引起的影响。CSM技术采用在压痕期间振荡压头以测量随深度、力荷载、时间或频率而变化的特性。 该选项包括恒定应变率实验,该实验测量硬度和模量与深度或载荷的函数关系,这是学术界和工业界最常用的测试方法。 CSM还可用于其他高级测量选项,包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA™方法和与基板无关的测量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中,易于使用并且保证数据质量。

InForce 50 actuator

InForce 50 驱动器

InForce 50驱动器采用高达50mN的力度进行纳米力学测试。电磁力专利技术应用可确保稳定的测量和力荷载与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计确保谐波运动受限于一个自由度,从而力荷载和位移可控制在一个轴向。InForce 50驱动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。整个系列的InForce和Gemini驱动器的压头都可以互换。

Gemini two-axis actuator

Gemini 双轴驱动器

Gemini双轴技术为第二个横轴提供了标准压痕性能,并且采用CSM同时沿两个轴运行。该专利技术所增加的信息有助于深入了解材料特性和失效机理。二维传感器是测量横向力和摩擦测量所必须的,并能够用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切和拓扑。

300°C Sample Heating

300°C样品加热

300°C样品加热选项允许将样品放入工作室中进行均匀加热的同时使用InForce 50驱动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体回填以减少氧化,以及冷却以去除废热。 ProbeDMA,AccuFilm,NanoBlitz和CSM均与样品加热选项兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头绘制高E(> 3GPa)材料的纳米力学性质的3D分布。NanoBlitz以每个压痕<1s实现多达100,000个压痕(300x300阵列),并对阵列中的每个压痕在指定负载下测量杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多个阶段或材料。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理功能。

NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头为低E/H和高E(> 3GPa)材料绘制4D纳米机械特性的分布。NanoBlitz以每次压缩5-10s进行多达10,000个压痕(30x30阵列)测试,并以每个压痕的深度为函数对杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)进行测量。 NanoBlitz 4D采用恒定应变率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。

AccuFilm? Thin Film Method Pack

AccuFilm™薄膜方法组合

AccuFilm薄膜方法组合是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法,采用连续刚度测量(CSM)对基板无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基板上硬性薄膜测量进行基板材质的影响的校正,也对硬基板上的软性薄膜进行同类的校正。

>ProbeDMA? Polymer Method Pack

ProbeDMA 聚合物方法组合

聚合物包提供了对聚合物的复数模量作为频率的函数进行测量的能力。该包装包括平冲头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析(DMA)测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜,而这种技术是对其进行表征的关键。

Biomaterials Method Pack

生物材料方法组合

生物材料方法组合采用约为1kPa的剪切模量以及连续刚度测量(CSM)提供了测量生物材料的复数模量的能力。该选项包括平冲头和用于评估粘弹性的测试方法。对于传统流变仪无法测量的的小规模生物材料,这种测量技术对其表征十分关键。

Scratch and Wear Testing Method Pack

划痕和磨损测试方法组合

划痕测试在以指定速度在样品表面上移动时对压头施加恒定或斜坡载荷。划痕测试允许表征薄膜、脆性陶瓷和聚合物等在内的很多材料。

DataBurst

DataBurst

DataBurst 功能使配备InView软件和InQuest控制器的系统能够以> 1kHz的速率记录位移数据,用于测量高应变阶跃负载、弹出和其他高速事件。配备用户方法开发选项的iMicro系统也可以对使用DataBurst的方法进行修改。

InView control software

针对InView控制软件的用户方法开发

InView是一个功能强大、直观的实验脚本平台,可用于设计新颖或复杂的实验。 经验丰富的用户使用配备独有InView选项的iMicro系统设置几乎可以进行所有小规模机械测试。

Active Vibration Isolation

采用模块机架系统的主动隔振

可选用的高性能主动隔振系统为iMicro纳米压痕仪其内置隔振装置的基础上提供额外的隔振功能。该系统易于安装并可在所有六个自由度上减少振动,无需调试。 模块化机架系统将所有组件囊括在集成机架内以方便使用。

True Test I-V option

True Test I-V电气测量

采用InView软件控制,iMicro 纳米压痕仪的True Test I-V选项是使用精密电流表和电压源、通过压头电路和导电压头。 该设计帮助用户对样品施加特定电压,测量压头处的电流,且同时操作InForce 50或InForce 1000驱动器。

Linear Optical Encoders

线性光学编码器

iMicro的线性光学编码器(LOE)选项集成在X和Y移动平台中,可提高测试工艺的位置精度和产量。

Indenter tips

压头和校准样品

InForce 50、InForce 1000和Gemini驱动器采用可互换的压头。系统配有有各种各样的尖锐压头,如Berkovich、立方角和维氏,以及平面冲头、球形冲头和其他几何形状。整个产品系列也提供标准参考材料和校准标准。