NGR3550 ---电子束缺陷检测及图形测量分析系统

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>NGR3550 ---电子束缺陷检测及图形测量分析系统:
 

设备简介

1.NGR是半导体业界领先的专注于电子束缺陷检测,大规模几何图形测量分析判断系统。
2.NGR3550是新一代高分辨率型号

应用及特点

1.一套设备包含CD-SEM,SEM-Review 和 defect review 功能,同时进行检测和量测
2.超大视野数据收集(70um*70um FOV)
3.高分辨率,可支持10nm以下工艺节点
4.数据分析采用Die to database模式,直接与原始设计图形进行对比,大大提高分析的准确性和分析速度
5.适用于OPC的工艺管控,大大加快光罩研发修正速度
6.适用于YE的缺陷工艺管控
7.OPC应用超过90%的市占率(全球Tier 1客户)