VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 (XPS)

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VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 (XPS):
 

设备简介

1.Nova是半导体业界领先的专注于薄膜量测分析设备供应商,提供超高分辨率XPS+XRF in-line量测系统
2.VeraFlexIII+ XF是第四代超高分辨率XPS(X-Ray光电子光谱分析系统),用于超薄膜成分及厚度量测以达到薄膜工艺质量控制
 

应用及特点

  • 应用于控片,产品片(薄膜组分及厚度直接测量,在线工艺控制)
  • POR(业界必备标准测量设备):SiON,HKMG,FinFET,DRAM,VNAND, MRAM,PCRAM
  • 超高分辨率(Sub-A),直接测量方式量测薄膜材料组分及薄膜厚度
  • 适用于90nm~5nm 任何技术节点。
  • 可同时使用XPS+XRF 测量不同厚度且多层薄膜结构