SL473 Series: 晶圆激光打标系统

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SL473 Series: 晶圆激光打标系统 ( Laser Marking System)
 

设备简介

Towa 是业界领先的半导晶圆激光打标设备供应商,其前身是著名的LaserFront系统。
 

应用及特点

  • 1.打标各类信息:产品名,Lot号,工艺控制号等
  • 2.打标精度高,颗粒度控制好,地维护成本,长期稳定运行
  • 3.Towa不仅提供先进300mm 硅晶圆打标系统,同时也提供针对化合物半导体晶圆系统:GaAs,SiC,GaN等。