T-Series水平式炉管

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T-Series水平式炉管(Horizontal Furnace): 常压炉管/低压化学气相沉积(LPCVD)
 

设备简介

Tempress 是世界著名半导体扩散设备供应商,成立50年来已经供应超过2000套设备在半导体行业
 

应用及特点

1.常压工艺应用
2.低压化学气相沉积 (LPCVD)
 
3.应用领域