3D显微镜 共聚焦显微镜

产品经理:  奚丹丹

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产品描述

Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。 该系统采用ZDot专利技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-20的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。 ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。 Zeta-20也是一种高端显微镜,可用于样品复检或自动缺陷检测。 Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,适用于研发及生产环境。

Closeup of the Zeta-20

主要功能

  • 1.采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用
  • 2.可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
  • 3.ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像
  • 4.ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量
  • 5.ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
  • 6.ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
  • 7.ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
  • 8.AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化
  • 9.生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量
3D graph of pads and wires

主要应用

  • 1.台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度
  • 2.纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
  • 3.外形:3D翘曲和形状
  • 4.应力:2D薄膜应力
  • 5.薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度
  • 6.缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷
  • 7.缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
Photo of a scientist in a lab

工业应用

  • 1.太阳能:光伏太阳能电池
  • 2.半导体和化合物半导体
  • 3.半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)
  • 4.半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)
  • 5.PCB和柔性PCB
  • 6.MEMS(微机电系统)
  • 7.医疗设备和微流体设备
  • 8.数据存储
  • 9.大学,研究实验室和研究所
  • 10.还有更多:请美职联系以满足您的要求

3D image of etched pillars